一、项目背景

集成电路生产几乎每道工序需要超纯水进行清洗，工件与水直接接触，水质达不到标准，水中的微量杂质可能使芯片再污染，对产品产生的影响不言而喻。随着集成电路不断精细化，集成电路生产对水中污染物要求越来越严格，从六十年代末期，美国五家公司提出的集成电路用纯水水质指标以来，集成电路每前进一代，杂质都要减少1/2～1/10。美国材料实验学会(ASTM)1983、1990年颁发的电子级水质标准已不能适应超大规模集成电路迅速发展的需要。目前ASTM提出了新的、更为严格的水质指标。

二、项目参数

1、膜型号：德兰梅尔超纯水反渗透膜SCW20

2、产水量：800T/D

3、采用工艺：RO+EDI+抛光

4、出水水质：18兆欧电子级超纯水

三、项目工艺

在预处理阶段，“RO+EDI+抛光混床”工艺与传统超纯水处理工艺基本相同。原水经过严格预处理之后，进入RO反渗透系统，出水立刻送至EDI装置中，此时出水已经达到一般工业用超纯水要求，再经过抛光混床对出水进行深层次处理，保证出水无任何杂质，达到18兆欧电子级超纯水标准。

四、德兰梅尔超纯水反渗透膜应用优势

1、德兰梅尔超纯水反渗透膜高脱盐率、高抗污染，保证膜元件的稳定运行。

2、德兰梅尔超纯水反渗透膜对高硼、硅、锗等金属元素具有高去除率。

3、德兰梅尔超纯水反渗透膜清洗周期长，出水水质稳定，有效节约运行成本。

4、德兰梅尔超纯水反渗透膜适合超纯水行业EDI系统之前作为脱盐组件，保证EDI系统安全稳定运行，确保出水达标。

德兰梅尔(www.rofanshentou.com )超纯水反渗透膜可应用于电子行业、超纯水行业、电厂、石油化工行业等。德兰梅尔膜产品性能稳定，可以节省投资、降低运行费用、减少单位消耗。德兰梅尔膜产品广泛应用于电力、石油化工、医药、食品饮料、生物制药、钢铁、纺织、市政及环保等领域，在海水淡化、工业纯水、电子级超纯水、中水回用、生物制药、食品行业分离浓缩过程中发挥着重要的作用。

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